國產浸沒式DUV光刻機開始小批量生產，今年首批量產5台

據The Information報道，上海一家國資背景公司已開始小批量生產國產浸沒式DUV光刻機，今年計劃出貨約5台，2027年增至約20台。首批設備將交付中芯國際、華虹半導體和長鑫科技，晶圓廠需驗證精度、穩定性及與現有產線的銜接，流程或持續數月甚至更久。報道稱，該設備多數部件已國產化，但部分關鍵零部件仍依賴日本，整體性能和制造質量仍落後ASML，而ASML在2025年單年交付的浸沒式DUV光刻機約為131台，國產設備距離大規模替代仍有差距。